三維表面形貌測量?jì)x特點(diǎn):
一款的3D光學(xué)測量?jì)x
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。
和
LED環(huán)形燈的設計,使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨,高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬(wàn)點(diǎn)/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過(guò)擴展測量模式整合
全自動(dòng)
測量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高,如自動(dòng)更換物鏡等
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