關(guān)于三維形貌儀的軸向色差原理講解

　　三維形貌儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌。儀器采用白光軸向色差原理對樣品表面進(jìn)行快速、重復性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽(yáng)能電池、醫療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)準確的、價(jià)格合理的計量方案。

　　三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線(xiàn)段剖面，三維線(xiàn)路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區差異繪圖。