3D形貌儀（三維成像）能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗檢測，模式切換可實(shí)現全自動(dòng)化。
形貌儀3D系統由臺架、控制系統、探頭、針尖組成。系統控制單元控制探頭沿樣品表面移動(dòng)，以測量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根據需要設定參數，如探頭移動(dòng)的步長(cháng)，選擇、制定自己的測試模式，以使測量長(cháng)度、速度、路徑、分辨率達到*化。測試系統的數據處理能力非常強，可得到多種參數，包括形貌、粗糙度、坐標尺寸等。同時(shí)有自動(dòng)控制能力，可以和超精密微加工、微組裝系統組合，如為微加工系統提供在線(xiàn)檢測，以隨時(shí)控制加工質(zhì)量。
3D形貌儀的啟動(dòng)四步驟說(shuō)明：
步驟1
先啟動(dòng)計算機，然后開(kāi)啟儀器。使用原廠(chǎng)默認密碼登錄系統。
步驟2
約30s后，雙擊桌面上的3D圖標，打開(kāi)測試軟件。
步驟3
使用用戶(hù)名、密碼登錄測試軟件。出廠(chǎng)時(shí)的默認用戶(hù)名和密碼參考說(shuō)明書(shū)，參照說(shuō)明書(shū)獲取用戶(hù)設置的更多信息。
步驟4
點(diǎn)擊OK，初始化Z軸。接著(zhù)點(diǎn)擊OK，初始化XY載臺。
注意：Z軸和XY載臺即將移動(dòng)，請確認沒(méi)有任何物體阻礙它們的運動(dòng)路徑。請勿用手觸碰移動(dòng)部件。
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