3D形貌儀已被用于實(shí)驗室、大學(xué)和行業(yè)使用，組合多種成像模式，能夠在同一測試平臺上運行多種測試，只需單擊按鈕，就能轉換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢，并且各項技術(shù)彼此互補。該項整合技術(shù)不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
3D形貌儀利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎研制而成，它可以達到納米級的檢測精度，并可快速獲取被測工件表面三維形貌和數據進(jìn)行檢測，其主要用途是用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率?？蓮V泛用于各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求高的如：半導體、微機電、納米材料、生物醫療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f(shuō)只要是微型范圍內重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量，除了3D形貌儀，沒(méi)有其它的儀器設備可以達到其精度要求。
成像散光問(wèn)題一直影響3D形貌儀測量準確度的因素之一，這種現象如何進(jìn)行處理呢？
實(shí)際操作中啟動(dòng)開(kāi)關(guān)電源后，如果大屏幕上沒(méi)有聚焦，分辨率較低，我們稱(chēng)之為“散光問(wèn)題”。此時(shí)，無(wú)論如何更新物鏡，或者改變測量角度，大屏幕上的畫(huà)面還是一樣的。一開(kāi)始這種情況，很多人都不明白，以為鏡頭上有污垢造成的。
對于以上問(wèn)題先確認一下是否是形貌儀的散光問(wèn)題導致的。如果確定是散光故障則很有可能是LED不聚光方式引起的，更換LED后重啟工作電源可以查看相關(guān)問(wèn)題還是否存在，一般情況都差不多是這個(gè)原因。
其次拆開(kāi)鏡框，看看玻璃鏡面是否平整。如果是均勻的，不會(huì )造成散光，但是不均勻會(huì )導致散光。
通過(guò)上述兩種方法，一般可解決好儀器的散光問(wèn)題。
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