三維表面檢測儀又稱(chēng)三維影像測量?jì)x或非接觸式光學(xué)測量?jì)x，是集光學(xué)、機械、電子、計算機圖像處理技術(shù)于一體的高精度、高效率、高可靠性的測量?jì)x器。該儀器采用非接觸式三維測量方式，可進(jìn)行快速精密的幾何尺寸和形位公差的測量，具有良好的剛性質(zhì)量比，運動(dòng)平穩、準確，確保了整機精度更高。
三維表面檢測儀采用有限元分析技術(shù)設計，具有高精度、高性能高速度和高穩定性的特點(diǎn)。使用冷光源系統，可避免容易變形的工件在測量是因為熱變形所產(chǎn)生的誤差，并避免了由于碰觸引起的變形。檢測儀可高效地檢測各種復雜精密零部件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，全自動(dòng)地進(jìn)行微觀(guān)檢測與質(zhì)量控制；還可自動(dòng)抓邊、自動(dòng)聚焦的功能使得大程度減少了人為誤差。
三維表面檢測儀高速掃描時(shí)由于加速度而引起的動(dòng)態(tài)誤差很大，不可忽略，必須加以補償。在掃描過(guò)程中出現測頭總是沿著(zhù)曲面表面運動(dòng)，即使速度的大小不變亦存在著(zhù)運動(dòng)方向的改變，因而總存在加速度及慣性力，使得檢測儀發(fā)生變形，測頭也在變負荷下工作，由此而導致測量的誤差，掃描速度越高影響越大，甚至成為掃描測量誤差的主要來(lái)源。
減小高速掃描時(shí)的動(dòng)態(tài)誤差的辦法如下：
1.改進(jìn)檢測儀的結構剛性，但不要過(guò)多增加結構質(zhì)量以免增加運動(dòng)慣性力。
2.改進(jìn)控制系統剛性及跟隨性，保證高速掃描時(shí)針尖不會(huì )離開(kāi)零件表面。
3.檢測儀的掃描測頭結構本應能適用于高速掃描。好的辦法是量化動(dòng)態(tài)誤差并進(jìn)行掃描動(dòng)態(tài)誤差補償。
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