白光干涉儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌。
白光干涉儀的測量應用說(shuō)明：
以測量單刻線(xiàn)臺階為例，在檢查儀器的各線(xiàn)路接頭都準確插入對應插孔后，開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān)，啟動(dòng)計算機，將單刻線(xiàn)臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動(dòng)調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。
在計算機上打開(kāi)光學(xué)3D表面輪廓儀測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的低點(diǎn)，再微調鏡頭與被測單刻線(xiàn)臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設置好要掃描的距離。按開(kāi)始按鈕，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測量，測量完成后，軟件自動(dòng)生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數據分析，獲得被測器件表面線(xiàn)、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?，確保了高效率檢測。*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
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