你知道白光干涉儀能夠應用在哪些方面嗎？

　　白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精細表面輪廓測量?jì)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會(huì )觀(guān)察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。

　　它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

　　干涉儀的應用極為廣泛，主要有如下幾方面：

　?、匍L(cháng)度的精密測量。在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據條紋的移動(dòng)數可進(jìn)行長(cháng)度的精確比較或絕對測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀羅干涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線(xiàn)的波長(cháng)表示國際米。

　?、谡凵渎实臏y定。兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對折射率進(jìn)行相對測量的典型干涉儀。應用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀(guān)察。

　?、鄄ㄩL(cháng)的測量。任何一個(gè)以波長(cháng)為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來(lái)測量波長(cháng)的方法。以國際米為標準，利用干涉儀可精確測定光波波長(cháng)。法布里-珀羅干涉儀(標準具)曾被用來(lái)確定波長(cháng)的初級標準(鎘紅譜線(xiàn)波長(cháng))和幾個(gè)次級波長(cháng)標準，從而通過(guò)比較法確定其他光譜線(xiàn)的波長(cháng)。

　?、軝z驗光學(xué)元件的質(zhì)量。泰曼干涉儀被普遍用來(lái)檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。

　?、萦米鞲叻直媛使庾V儀。法布里-珀羅干涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有很高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。